Как работает ионизационный вакуумметр
Ионизационный вакуумметр — это высокоточный измерительный прибор, предназначенный для определения очень низкого давления в вакуумных системах. Его принцип действия основан на физическом явлении ионизации молекул разреженного газа. Внутри прибора создаётся поток электронов, которые, сталкиваясь с молекулами газа, выбивают из них электроны, образуя положительные ионы. Ключевая особенность заключается в том, что количество образовавшихся ионов (и, соответственно, сила ионного тока) прямо пропорционально плотности молекул газа, то есть его давлению. Измеряя этот ионный ток, можно с высокой точностью рассчитать абсолютное давление в системе.
Технические характеристики и сфера применения
Современные ионизационные вакуумметры способны измерять сверхнизкие давления, достигающие значений порядка 10-9 Па (паскалей), что соответствует высокому и сверхвысокому вакууму. Благодаря такой чувствительности эти приборы нашли широкое применение в наукоёмких отраслях промышленности. В России они активно используются в электротехнической и радиоэлектронной промышленности, например, при производстве полупроводниковых микросхем, вакуумных ламп, ускорителей частиц и в научных исследованиях, где необходим строгий контроль среды.