Деформационный вакуумметр — прибор-вакуумметр, действие которого основано на зависимости давления от деформации чувствительного элемента (мембраны, сильфона, спиральной трубки и др.). Показания деформационного вакуумметра не зависят от рода газа. Данным прибором обычно измеряют давление больше 10 Па.